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電子化學
金屬蝕刻液(Metal Etchant)
金屬蝕刻液(Metal Etchant)
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產品介紹
蝕刻金屬
產品名稱
特性
銀
Ag Etch-126
對鎳具選擇性
銀
Ag Etch-192
對鉬具選擇性
銀
Ag Etch-319
銀蝕刻適用於鈦-鎳(釩)-銀 三層結構蝕刻
鋁
Al Etch 85-2-13
標準鋁蝕刻液 (磷酸類)
鋁
Al Etch 868
適用於觸控面板(鉬-鋁-鉬)三層結構蝕刻
鋁
Al Etch-284
蝕刻後表面平滑
金
EGAU-1
標準金蝕刻液 (碘化鉀/碘 類)
金
EGAU-10
對鎳具選擇性
金
EGAU-159
標準金蝕刻液 (碘化鉀/碘 類)
金
EGAU-16
對鎳具選擇性
金
EGAU-183
標準金蝕刻液 (碘化鉀/碘 類)
金
EGAU-19
標準金蝕刻液 (碘化鉀/碘 類)
金
EGAU-309
對大數金屬具選擇性 (鋁, 銀, 銅, 鎳…)
金
EGAU-4
標準金蝕刻液 (碘化鉀/碘 類)
金
EGAU-6
標準金蝕刻液 (碘化鉀/碘 類)
金
EGAU-615
對大數金屬具選擇性 (鋁, 銀, 銅, 鎳…)
金
EGAU-716
對金屬具選擇性且不殘留
金
EGAU-8
對鎳具選擇性
鉻
TFE-573
標準鉻蝕刻液 (硝酸鈰銨 類)
銅
Cu Etch-520
銅-鉬蝕刻
銅
Cu Etch-385
標準銅蝕刻液 (鹽酸類)
銅
Cu Etch-786
UBM 銅蝕刻
銅
Cu Etch-816
UBM 銅蝕刻
銅
Cu Etch-855
UBM 銅蝕刻 (低蝕刻率)
銅
Cu Etch-B15
對大數金屬具選擇性
砷化鎵
GaAs Etch-539
對砷化鋁具高選擇性
砷化鎵
GaAs Etch-778
對砷化鋁具高選擇性
磷化鎵
TFE-640
磷化鎵蝕刻液
氧化銦錫
BOD Etch-272
氧化銦錫蝕刻液(非鹽酸類)
氧化銦錫
BOD Etch-300
氧化銦錫蝕刻液(非鹽酸類)
氧化銦錫
ITO Etch-A1
標準氧化銦錫蝕刻液 (鹽酸-氯化鐵類)
氧化銦錫
ITO Etch-B1
標準氧化銦錫蝕刻液 (王水類)
氧化銦錫
ITO Etch-C1
標準非晶相氧化銦錫蝕刻液 (草酸類)
氧化銦錫
TFE-155
氧化銦錫蝕刻液
氧化銦錫
TFE-408
氧化銦錫蝕刻及重工使用
鎳
Ni Etch-105
快速蝕刻
鎳
Ni Etch-369
標準鎳蝕刻液 (硝酸類)
鎳
NiV Etch-326
應用於鈦-鎳(釩)-銀 結構中的鎳(釩)蝕刻液
鈦
Ti Etch-200
標準鈦蝕刻液 (氫氟酸類)
鈦
Ti Etch-219
對於氧化矽及鋁具有選擇性的鈦蝕刻液
鈦
Ti Etch-290
快速蝕刻
鈦
Ti Etch-378
UBM 鈦蝕刻 (對鋁墊及大多數金屬具選擇性; 側蝕小等特性)
鈦
Ti Etch-863
UBM 鈦蝕刻 (對大多數金屬具選擇性; 側蝕小等特性)
鈦
Ti Etch-899 A/B
UBM 鈦蝕刻 (對鋁墊及大多數金屬具選擇性; 側蝕非常小等特性)
鈦
Ti Etch-C15
對氧化矽具選擇性
銅-鈦
TiCu Etch-621
對於玻璃底材的樣品具適用性
氮化鈦
TiN Etch-491
氮化鈦蝕刻
鈦-鎳
TiNi Etch-336
適用於結構為鈦-鎳(釩)-銀結構中的單劑型鈦-鎳蝕刻液
鈦-鎳-銀
TiNiAg Etch-552
單劑型鈦-鎳-銀蝕刻液
鈦-鎳-銅
TiNiCu Etch-202
單劑型鈦-鎳-銅蝕刻液
鈦鎢
H
2
O
2
標準鈦鎢蝕刻液
鈦鎢
TiW Etch-833
UBM 鈦鎢蝕刻液 (不產生放熱效應)
矽
Si Iso-Etch 1-20-5
對氧化矽具選擇性,且不蝕刻氮化矽
矽
Nodule Etch-792
適用於鋁蝕刻後去除矽殘留物
矽
Poly Etch 5-3-3
標準矽蝕刻液
矽
Poly Etch-199
SIC: 晶圓背面研磨和晶背金屬化製程(BGBM)中的晶背粗化
矽
Poly Etch-227
SIE: 晶背蝕刻及應力消除
矽
Poly Etch-267
Poly Etch-5-3-3 取代
矽
Poly Etch-741
SIC: 晶圓背面研磨和晶背金屬化製程(BGBM)中的晶背粗化
矽
Poly Etch-820
SIE: 晶背蝕刻及應力消除
矽
Poly Etch-904
適用於硼摻雜的矽蝕刻液
氧化矽
BOE & SBOE series
標準二氧化矽蝕刻液 (氫氟酸/氟化銨 類)
氧化矽
PAD Etch-26M
對矽、鋁、氮化矽具有選擇性